石英再生

使用済み石英部品を単純に再生するだけでなく、 新品以上の品質をあたえる事を可能にしました。
使用済み石英部品の再生加工のほか、各種石英製品のご用命もお待ちしています。

半導体製造用石英ガラス

石英部品は時間とともに【エッチング】や【薬液の付着】による劣化で、そのまま消耗品として、廃棄されていました。しかし、新しい技術により使用済みの部品から「より純度の高い石英部品を再生する」ことに成功。石英部品を恒久的にリサイクルさせることが可能となりました。

パートナー企業

拡散・ウェット関係

ベルジャー

ウエハーボード

ウエハーボード

洗浄槽

反応管

石英ガラスウール

ドライエッチャー・アッシャー関係

石英リング

フォーカスリング

シールドリング

石英リング

ウィンドウエンドポイント

ピーボード

石英ネジ

石英セル

石英その他

※セラミック治具

再生石英とは?

生石英とは、消耗品として取扱いされている「石英ガラス製部品」の廃棄品をリサイクルし再生加工を施したものです。
世界的な環境保護への動きを背景に、様々な分野でリサイクルが重要視されています。しかし、いくらサイズや形が再現されていても、その品質が低下していては繊細な半導体などの製造過程において、使用することができません。そこで、再生加工をすることで寸法の再現だけでなく、品質までも向上させることに成功したのが江信特殊硝子の「完全再生技術」です。

「完全再生技術」とは

■独自の再溶融法による不純物の除去

火炎加工装置を改造し、従来より100℃高い温度で再溶融を行うことで、石英ガラス内の不純物を減少させることに成功。再生を繰り返すほど、
内部の不純物は減少してゆくため、新品以上に純度の高い石英ガラス製品の再生加工を可能にした。

■不純物を蓄積させないない研磨技術

エッチングされ廃棄対象となった部品も、反応側の汚染が懸念される層を完全に研削し、不純物のない【新しい層】のみを使用する。

これら技術のコンビネーションが新品以上に品質を誇る石英ガラス「完全再生技術」です。

再生前(使用済品)


薬液により透明度がなくなり
エッチングされたペルジャー

再生加工後


再生加工により、寸法が復元され
透明感と品質を取り戻した。