RF・DC電源/各種電源
主要部品の定格アップ、リエンジニアリングにより、信頼性の向上および長寿命化を行う改善を行っております。AMAT / Lam/ Novellus装置用やCOMDEL / AE / RFPP / ENI（MKS）社製電源、その他各種のRF電源 / DC電源など数多くの修理実績と経験があります。
是非、一度弊社トリコにご相談ください。
各種のRF電源 / DC電源の
修理を行っております！
AMAT / Lam/ Novellus装置用
COMDEL / AE / RFPP / ENI（MKS）社製電源
Repair / remodeling example 機種別の修理・改造例
RF and DC Power Supply
AE社製
RF電源MDXシリーズ
AE社製
DC電源PINNACLE
AE社製
RF電源
MKS（ENI）社製
RF電源
AE（RFPP）社製
RF電源
300mm装置用RF & DC Power supply
MKS Spectrum 11002-00,
10513-00 （AMAT ULTIMA）
Comdel CDX-2000
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