top

ロボット・プリアライナー

株式会社トリコでは、半導体/液晶用製造装置の真空ロボット及び大気ロボットのOH、修理サービスを行っております。下記リスト以外にも相談可能なアイテムがございますのでお気軽にお問合せ下さい。

 

photo_robot01 photo_robot02 photo_robot03 photo_robot04
真空ロボット
大気ロボット

 

 

真空ロボット 大気ロボット
BROOKS製 BROOKS製
  • MAG7  ※
  • MTR5  ※
  • VTR5
  • MAG70
  • MAG70 POWER SUPPLY
  • 各種アーム修理
  • ATM204
  • PRI ATM107
  • PRI ATM407B
  • PRI 105
ASYST製
  • UTCシリーズ ※
  • UTXシリーズ
  • UTWシリーズ
  • OF250    ※

※ 印は予備機あり(EXCHANGE可能)。

    お問合せはこちらから 

>> ページトップ