top

リンサードライヤーの販売・メンテナンス

logo-marteq
マーテック製リンサードライヤー(ウェハー洗浄装置) 旧バーテック(Verteq)社製品

 

マーテック(旧バーテック:VERTEQ)は、1/4の省スペースながら0.25μmに対応したウェット洗浄装置(リンサードライヤー)を取り扱っております。

弊社と致しましては、下記リンサードライヤーの販売及び、メンテナンスを承っております。

 

photo_rinser01 photo_rinser02 photo_rinser03
SUPERCLEAN 1800-6

ウェハー:8”対応

*メーカーリファビシュ品の販売も可能です

SUPERCLEAN 1600-55

ウェハー:6”対応

*メーカーリファビシュ品の販売も可能です

SUPERCLEAN 200/300

WET装置組込対応

ウェハー:8”、12”対応

photo_rinser04 photo_rinser05  
Cobra VcS

1/4の省スペース
0.25μm対応ウェット洗浄装置
低価格
1バス方式

Sunburst Turbo cleaning and rinsing systems

サブミクロンサイズ粒子の洗浄除去装置、高度なmegasonicソリューションスタンドアロン、又は、他のプロセス・ステップと共に使用

 

メンテナンス対応機種

  • SUPERCLEAN 1600-33/34
  • SUPERCLEAN 1600-55
  • SUPERCLEAN 1800-6
  • SRD1000/2000
  • SRD8100/8200
  • SRD8101/8201

               お問合せはこちらから 

>> ページトップ