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特注品設計製作・OEM供給

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PMXマッチャー
4チャンネル位相シフター
ESC電源
Lam TCP用ESC電源
(互換品)
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エピ装置用制御ラック

 

他にも各種の機器の設計・製作をお受けいたします。
是非、弊社にご相談ください。

 

 

マルチチャンネル位相シフター

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4チャンネル位相シフター
4チャンネル位相シフター
(表示無し)
 

 

Closed Loop クローズドループ方式

マッチングネットワークの出力の位相を検出しPLLによる位相制御回路にフィードバックし基準信号との位相差を任意の値に制御します。

closedloop

 

電源電圧
単相AC100〜240V(フリー電源)20/60Hz
外形寸法
99(高さ)X 483mm(幅)X 450mm(奥行)ラック取付可能
位相制御範囲
各チャンネルの独立設定で0〜360度
位相設定方法
フロントパネルの回転ノブ(エンコーダ)による設定
制御方式
オープンループ方式/クローズドループ方式
位相出力信号
13.56MHz RF電源の外部周波数入力仕様に準じます。
位相入力信号
マッチャー出力部からアッテネータで減衰させた電圧位相信号
表     示
位相差表示      :20桁4行LCD英数字表示(オプション)
位相ロック表示    :LEDランプ(緑)各チャンネル毎
位相表示範囲    :0〜360度
位相表示分解能   :1度
位相表示計測制度 :測定値の±0.5%±1 Digit

 

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