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FOAMTEC

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半導体・液晶・太陽電池・LED用クリーンルームで利用でき、チャンバークリーニング、部品の清掃に便利な製品を御提案します。

装置の汚れ、チャンバー内副生成物、バルブに付着したデポ・ペースト状原料の残留物の洗浄は時間もかかります。力も使います。また、除去したパーティクルをきちんと取り除かないと、歩留まり・装置稼働率が悪くなります。

FOAMTECは、半導体装置メーカーに認められ、効率的にデポを取り除くダイヤモンドパッド、工具を有名な装置ごとのパッケージにてご提案しております。

 

 

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UltraSOLV® ScrubPADS

ダイヤモンドスクラブパッドでデポをきれいに除去できます。
HT4514D-1
(140 ダイヤ グリット ScrubPAD)
HT4536D-1
(360ダイヤ グリット ScrubPAD)
ダイヤのサイズは140から4000まで準備しております。

MiraWIPE® 
クリーンルーム用ワイパー

通常のワイパーとは違う星型マイクロファーバー繊維で極小のパーティクルを拭き取れます。

効率的な電動工具

ダイアモンドグリットを利用して広い範囲、頑固なデポを短時間で除去できます。

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UltraSOLV® Sponge

このスポンジは、純粋で洗えばまた汚れを拭取れるので、今までのワイパーの廃棄を削減できる優れものです。

Cleaning Swabs

クリーニングスワブ(Cleaning Swab)は、洗浄時に批判的製造装置からの汚染の除去をし易い形状に設計されました。 溶剤にも対応できるファイバーを利用し、繊維が毛羽立ち難く作られております。ポリプロピレンハンドルがついております。
HT1700

Ergo WRENCH

掃除部位を安全に効率良くスクラブできるように設計をしたユニークな洗浄ツールです。HT5004 グリップ、FT850 ハンドル、FT82XR ヘッド (サイズ 大、中、小 )

 

 

半導体・液晶・太陽電池製造装置部品洗浄、真空チャンバー内洗浄、レジスト除去、デポ除去

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CCircular ScrubDISK®, Diamond (D) Grit用の握りやすい ErgoSCRUB®ハンドルを利用すると研磨がしやすくなります。

Scrubペンとダイアモンドスリット (HT4528DW-5) を合わせて使用し、膜を除去する為に、トレンド、コーナーとシーリングサイドをこする。

 

 

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