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ポリイミド樹脂製品

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アルバニー社では、高品質ポリイミド樹脂でパイロペルを開発しました。
従来品と比較して「耐プラズマ性」「耐腐食ガス性」に優れ、半導体・液晶製造装置などで使用されております。
さらに、「耐熱性」にも優れていることから、「ガス分析装置」「マスフローコントローラー」の部品としても採用されております。

 

 

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高品質・ポリイミド樹脂
パイロペルPyropel

最高動作温度:288℃

 

 
クランプリング
  • エッチ化学反応への強い耐性
  • 高純度
  • 長寿命でコストダウン!
ウエハー搬送用部品
  • 高温への耐性に優れている
  • 非溶融
  • イオン汚染は最小レベル
耐熱・電機絶縁部品
  • 高温時でも変形に強い
  • 優秀な絶縁耐力
  • オフガスレベルが低く抑えられる